報告內容：Atomic layer defect-free top-down processing for future nano-devices
報告人：寒川誠二
報告時間💃🏽🧘♀️：2018年 8月 22日（周三） 10:30
報告地點🧛🏼♀️：行政樓912
報告人簡介:
寒川誠二，日本人🥫，任職於東北大學，流體科學研究所，綠色納米實驗室教授，博士畢業於慶應義塾大學，曾在日本電氣株式會社（NEC）工作🧚🏽♀️。寒川教授課題組主要從事等離子體物理、微納電子加工及半導體器件材料的相關研究，其獨有的中性粒子束刻蝕技術在國際上有相當的影響力。近年來發表論文259篇👰🏽♂️，其中很多發表於Nature Communications，Carbon，Physical review，Applied Physics Letters，Nanotechnology等高水平期刊。另主編、聯合編寫著作24部🏋🏿，內容主要涉及半導體加工的物理⏰、化學原理等。寒川教授活躍於日本應用物理學會和電氣學會🍒，在等離子體📦、電子加工相關分會擔任職務，日本在低溫等離子體及微電子加工領域處於世界領先水平，因此其學會相關分會在國際上具有很大的專業影響力🤸🏼。同時寒川教授在美國物理學會下，真空學會一直擔任職務，該學會下屬期刊真空《Vacuum》等在工學期刊中屬於有影響力的刊物。
